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【CIOE 前瞻】揭秘定心儀:高精度光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)
2024-09-09

揭秘定心儀:高精度光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)導(dǎo)語:在光學(xué)系統(tǒng)的精密裝調(diào)中,定心儀作為必須工具,其重要性不言而喻。隨著光學(xué)行業(yè)的飛速發(fā)展,對成像質(zhì)量要求的不斷提升,傳統(tǒng)的被動裝調(diào)法已難以滿足中高光學(xué)系統(tǒng)的需求。今天,我們就來深入揭秘定心儀——這一光學(xué)裝調(diào)領(lǐng)...

  • 2020-12-26

    3D劃痕儀使用了超新的劃痕頭和高分辨率的3D形貌儀,能夠讓用戶進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)的劃痕測試,并在測試前后自動進(jìn)行亞納米級的3D成像。劃痕試驗(yàn)用于評估涂層和固體表面的粘附性和耐刮擦性。測試在受控的力下對樣品表面進(jìn)行劃擦,劃痕頭在遞增、恒定或臺階增力的載荷下沿著樣品表面移動。通過檢測摩擦力、位移和聲發(fā)射等信號以及利用3D成像技術(shù)來檢測涂層破損。3D劃痕儀采用大速比大輸出扭矩齒輪減速箱,以保證在不同測試負(fù)載下劃針移動速度恒定,使測試結(jié)果具有較高的精度。本儀器目前可以做的是兩種底材的試驗(yàn)。一種...

  • 2020-12-16

    掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)又名光刻機(jī),用光來制作一個圖形工藝,將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時復(fù)制到硅片上的過程。半導(dǎo)體制造過程中復(fù)雜也是難的步驟就是光刻,光刻機(jī)也因此成為重要的半導(dǎo)體制造設(shè)備,研發(fā)的技術(shù)門檻和資金門檻非常高,是復(fù)雜的機(jī)器之一。掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動1、手動:指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn),對準(zhǔn)精度可想而知不高了;2、半自動:指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD...

  • 2020-11-25

    隨著時代的進(jìn)步,集成電路科技的進(jìn)步與發(fā)展,對光刻工藝的精度提出了更高的要求。傳統(tǒng)的光刻工藝難以滿足如此的精度要求。接觸式光刻機(jī)性能的提高勢在必行。提高接觸式光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù):接觸式光刻機(jī)將圖形從掩模上復(fù)制到硅片上的若干參數(shù)決定了其主要性能。目前行業(yè)內(nèi)被普遍接受的光刻機(jī)三大性能參數(shù)是光刻分辨率、套刻精度和產(chǎn)率。近年來,提高光刻機(jī)性能的新技術(shù)不斷涌現(xiàn),光刻分辨率和套刻精度的提高推動光刻技術(shù)步入更小的節(jié)點(diǎn),產(chǎn)率的提高為集成電路制造廠商帶來更高的經(jīng)濟(jì)利益。下面主要討論提高光刻機(jī)性...

  • 2020-11-20

    三維形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析,以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理,微米和納米形狀,圓盤,圓度,球度,臺階高度,距離,面積,角度和體積進(jìn)行多范圍測量。三維形貌儀是采用先進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器,透過精密的掃描系統(tǒng)和解析算法,進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的結(jié)合,只需數(shù)秒鐘,就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結(jié)果。標(biāo)準(zhǔn)配...

  • 2020-11-14

    紅外激光測厚儀的測量原理是兩個激光位移傳感器的激光對射,被測體放置在對射區(qū)域內(nèi),根據(jù)測量被測體上表面和下表面的距離,計算出被測體的厚度。該儀器的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接shōu器、信號處理機(jī)測量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測物體表面上形成一個亮的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接shōu器的光敏上,產(chǎn)生探測其敏感面上光斑位置的電信號。當(dāng)被測物體移動時,其表面上光斑相對成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化。測厚儀的功能說明:1、可以對大多...

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